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四端口微波反射計(jì)（見駐波與反射測(cè)量）的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的。在60年代中期實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，利用計(jì)算機(jī)按一定誤差模型在每一頻率點(diǎn)上修正由定向耦合器的定向性不完善、失配和竄漏等而引起的誤差，從而使測(cè)量精確度大為提高，可達(dá)到計(jì)量室中精密的測(cè)量線技術(shù)的測(cè)量精確度，而測(cè)量速度提高數(shù)十倍。
1973年又研制出六端口網(wǎng)絡(luò)分析儀。它利用一個(gè)由定向耦合器和混合接頭（魔 T）組成的六端口網(wǎng)絡(luò)作為測(cè)量單元，除二個(gè)端口分別接信號(hào)源和被測(cè)件之外，其余四個(gè)端口均接到幅值檢波器或功率計(jì)。通過檢出的四個(gè)幅值的適當(dāng)組合，可以求出被測(cè)網(wǎng)絡(luò)散射參數(shù)的模和相位。它不必使用復(fù)雜的雙通道接收機(jī)來(lái)取得相位信息，從而使測(cè)量系統(tǒng)的硬件大為簡(jiǎn)化。此外，它有超過必需數(shù)目的冗余測(cè)量端口，可以利用冗余數(shù)據(jù)之間互相核對(duì)來(lái)提高測(cè)量結(jié)果的可信性。但它的計(jì)算工作比四端口網(wǎng)絡(luò)分析儀要復(fù)雜得多。采用雙六端口網(wǎng)絡(luò)分析儀來(lái)測(cè)量雙端口網(wǎng)絡(luò)，即用一個(gè)六端口網(wǎng)絡(luò)儀接在被測(cè)網(wǎng)絡(luò)的端口1，另一個(gè)接在端口2，可在測(cè)量過程中避免開關(guān)轉(zhuǎn)換或人工倒轉(zhuǎn)被測(cè)網(wǎng)絡(luò)的輸入端和輸出端，進(jìn)一步提高了測(cè)量的精確度。
